高精度檢測特輯:LMI Gocator 5500系列
隨著製程的演進,元件的尺寸越做越小,線路也越做越細。因此不論是FPD、PCB還是半導體產業,在尺寸量測或瑕疵檢測上,對於精度的需求也越來越高,常見的三角量測技術的線雷射、結構光等等,因本身技術原理之限制下,Z軸精度難以達到次微米等級(Sub-Micron)。
在此市場趨勢下,LMI Technology推出了彩色線共焦技術的Gocator 5500系列,不僅令Z軸重複精度高達0.05μm,掃描速度最高更可達13.5kHz。
點擊詳細了解彩色線共焦原理

此外,Gocator 5500系列採用了跟雷射共軛焦相同的原理,在感光元件的前方設置狹縫,阻擋非必要的反射光進入感光元件,因此針對表面複雜或高反射的表面,抗噪能力會遠遠優於線雷射或是結構光等其他形式的3D Sensor。

以下是實際用LMI Gocator 5500系列中的G5512,與他牌線雷射實際拍攝LED Chip上的Wire bonding比較結果(金線粗細約24μm),明顯觀察到LMI Gocator G5512可以清楚拍攝金線的完整形貌,但線雷射因為周圍雜訊的影響,難以判別原本的形貌,由此可見Gocator 5500系列的抗噪能力遠優於線雷射。

