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像素位移技術能帶來哪些好處？

1. 不用改機，可沿用現有使用的鏡頭、光源、encoder、機構設計等。
2. 較深的景深。
3. FOV相同，解析度2倍。
4. 解析度相同，FOV可達2倍。
5. 可檢測更小的瑕疵。
6. 與採用較小pixel size以保持高解析度的感光元件相比，有更好的Responsivity、Full Well（電位井滿井容量）、SNR（信噪比）和MTF（調制傳遞函數）。
7. 改善Bayer轉換產生的偽色或摩爾紋。 

為什麼像素位移技術可以檢測更小的瑕疵？

由於感光元件的像素與像素之間存在著間隙，當我們想進行非常細微的瑕疵檢測時就容易遇到一個問題：瑕疵的訊號同時被兩個或多個像素感光而弱化，如下圖：

像素位移技術的基本概念是，感光元件每移動1/2 個像素或1/3 個像素，就會拍攝一張照片，所以上圖的瑕疵訊號如果原本落在兩個像素之間，在感光元件移動後就能夠被整個像素完整感測到。而多次拍攝的影像會在電腦端進行影像處理，變成一張解析度提高的影像。

使用像素位移功能拍攝的關鍵

如果您測試像素位移功能，但發現結果不如預期，請進行以下的檢查。

1. 選用高解像力的鏡頭
像素位移生成的高解析度影像是來自多張原始影像處理後的結果，如果原始影像銳利度不佳，合成後的影像不但不會有解析度提高的感覺，反而會覺得影像變得模糊。
2. 使用穩定的相機載台
由於相機要以多次非常精準的微小位移來拍攝多張影像，因此相機的穩定性至關重要，即便只有些微的震動也會毀了影像。 

實際案例：12吋晶圓表面上的刮痕與髒汙

下圖是相機像素位移功能開啟前與開啟後的影像細節比較。功能開啟後，由於解析度提升一倍，可以看到拍攝物上的細節變得更清晰。

以上是對於像素位移在實務應用上的解說與注意事項，如果您有高解析度的待測物需要拍攝，卻又沒辦法花太多時間跟成本改機，不妨試試使用像素位移技術的相機拍攝吧！歡迎聯繫LINX Taiwan的工程團隊預約免費借測及進一步評估。

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