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只要三步驟,讓Mini LED的晶片/晶粒歪斜無所遁形

隨著科技不斷發展,3D檢測技術在半導體製造過程中扮演著關鍵角色,尤其在晶粒歪斜異常與晶片歪斜異常的識別更為重要。在mini LED巨量移轉技術的應用中,任何歪斜、立晶問題都可能影響最終產品的品質,因此透過精確的3D檢測瑕疵至關重要。以下我們將以實際案例,示範3D量測搭配軟體能夠如何精確檢出晶片的瑕疵。

應用案例:晶片有無歪斜

下圖是晶片打件後的實際狀況與傳感器掃描結果,我們希望可以知道打件後每一個晶片的角度是否有過度歪斜的狀況。本文將以LMI的Gocator感測器搭配內建的GoPXL軟體進行示範。

Gocator4000系列
樣品實際拍攝圖
Gocator4000系列
3D掃描結果

1. Gocator傳感器內建掃描2D圖像功能,透過AOI演算法可以準確提取出每一個晶片的中心座標(X,Y),從而輕鬆找到每個晶片的位置。在這個案例中,我們找出共40組晶片。

Gocator4000系列
中心點座標
Gocator4000系列
晶片位置

2. 接著,再透過3D切線工具,就能夠一次性、精準的找出水平、垂直切線,如下圖:

Gocator4000系列
水平切線
Gocator4000系列
垂直切線

3. 最後,使用角度量測工具,就可快速量測出每個切線所對應的角度,如下圖。值得一提的是,GoPxL的內建工具多達70多種,足以應付絕大多數3D量測情境的需求;以上提到的幾種工具都是內建,不須要自己重新開發即可馬上使用,是不是很方便呢?

Gocator4000系列
水平切線角度
Gocator4000系列
垂直切線角度

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