設備有encoder還是有誤差？光學準確度應該這樣調
霖思的工程團隊在幫客戶進行技術支援時，常會發現一個很容易被忽略的小細節，那就是光學解析度調整的準確度。當我們和客戶解釋光學解析度調整的準確度的重要性時，不少客戶都會這樣回覆 : 「我們的設備有encoder，所以相機會使用正確的line rate取像，因此問題不是你說的這樣！」但這樣的回答，其實是明顯忽略了光學解析度的影響。
舉例來說，今天一個專案規格要求光學解析度5μm/pixel，機台載台馬達精度是1μm/pulse，所以每5個pulse會trigger相機取像一條。當今天平台有encoder時，當載台速度有變化時，相機的line rat確實也會跟著變化，讓取像模組還是取得正確的影像，但這個假設成立的大前提是：光學解析度是正確的。
下圖是我們期望的狀況：光學解析度是精準的5μm/pixel，若平台每移動5μm距離，trigger相機取像一條。
但如果光學解析度不是精準的5μm/pixel，例如是5.2μm/pixel或是4.9μm/pixel，上圖大的藍色格子尺寸就會不正確，也就是每次取像都會有些微的誤差。如果你的樣品很大，取像的範圍很長，那累積的誤差就會很可觀！
那麼，該如何精準調整光學解析度？首先你一定需要一個有精確尺寸的待測物或是校正片。如果光機的光學解析度越高，對校正片要求就會越高，例如必須使用光罩。我們發現有不少客戶一開始就使用錯誤、或是尺寸不精準的待測物或是校正片來調機，結果當然就會導致解析度不準。
如果我們有正確的待測物或是校正片，就能藉由拍攝出來的影像pixel數量計算正確的光學解析度。例如下圖校正片的寬度是25mm，影像量測出的像素數量是有2488個pixel，則目前的光學解析度就是＝(25x10000)/2488=10.048μm/pixel。
以筆者之前任職於設備商的經驗，我們通常會要求設備的光學解析度調整要到小數點以下第三位，例如機台規格是10μm/pixel，則合格標準是10±0.005μm/pixel，也就是9.995~10.0055μm/pixel才是合格範圍。上圖中顯示光學解析度是10.048μm/pixel，表示還不夠精準，必須再調整。
同場加映小秘訣
該怎麼調整光學解析度？方式是靠伸縮鏡頭的套筒，鏡頭的套筒有一截可以伸縮：
■ 套筒伸長 => 鏡頭倍率增加 => 光學解析度變高
■ 套筒縮短 => 鏡頭倍率降低 => 光學解析度變低
光學解析度10.048μm/pixel表示解析度還不夠高，所以必須把套筒伸長增加鏡頭倍率，讓光學解析度達到我們設定的範圍，這樣就能完成光學解析度的調整囉。
小訣竅 : 如果待測物或是校正片能涵蓋整個取像的FOV，計算出來的光學解析度會比只涵蓋局部FOV更精準。
還是不確定該怎麼調整您的設備光學解析度？或想瞭解更多秘訣？