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Gocator 4000系列全新上市!搶先下載Datasheet

全新Gocator 4000系列智慧3D感測器已發表。
它與之間推出的Gocator 5500系列具有相同的共焦線感測器原理,但採用同軸光學設計,可從正上方捕捉影像,從而能夠以亞微米精度對極其不均勻且微小的目標進行3D掃描。

3D同軸線共焦感測器Gocator 4000系列 產品規格

產品規格40104020
數據點/輪廓
19201920
掃描速率[kHz]
4.3-144.5-16
X解析度[μm]
1.92.6
Z解析度[μm]
0.250.5
Z重複精度[μm]
0.120.25
視野範圍(FOV)[mm]
3.55.0
安裝距離(CD)[mm]
9.327.8
量測範圍(MR)[mm]
1.052.5

Gocator 4000系列特徵

高解析度 x 高速掃描

Gocator 4000系列具有高X和Z解析度,可測量微小特徵並獲得精細的3D數據和2D強度影像。 結合高達16 kHz的高速掃描速率(使用GoMax NX或開啟PC加速時),使其成為可用在生產線上進行In-line檢測的掃描速度和解決方案。

無死角同軸光學設計,傾斜面也可拍攝

同軸光學設計從正上方掃描,即使遇到深槽和突起等高度不平坦的形狀上也可以獲得精細的3D數據。 此外,Gocator 4000系列最大可測量角度為±85度的表面

適用於各種材質和表面狀況

不論是透明物體還是光滑的鏡面皆可拍攝。例如測量透明黏合劑的塗佈量、晶圓光澤表面上的切割凹槽以及BGA上的錫球凸塊等等。可量測各種材料的三維形貌和表面狀態。

內建取像與測量軟體

基於網頁瀏覽器的介面,只需使用滑鼠即可輕鬆設定和操作。可以使用附帶的測量工具進行尺寸測量和影像處理,並且它還支援I/O連接和PLC輸入/輸出的各種現場匯流排。

Gocator 4000系列的測量原理

在Gocator 4000系列所使用的同軸共焦光學系統中,當白光通過彩色透鏡時,它會沿著Z軸分光成連續的單色光。當待測物的表面在此光譜範圍內時,單一波長的光線會從表面反射並進入感測器。且感測器的正前方設有濾光針孔(Pin Hole),只有在焦點高度反射的光才能通過濾光針孔並被光譜儀偵測到。

透過分析偵測到的光的波長,即可確定物體表面的準確位置。 

部分應用案例

Gocator 4000系列能夠以亞微米精度對透明物體和光澤鏡面進行成像,適用於半導體產業和其他產業精密產品的形狀測量和外觀檢查。

BGA錫球高度檢測

BGA錫球高度檢測,錫球的頂點及側面斜坡都能清晰捕捉 

晶圓晶片裂紋檢測

能準確量測光亮的晶圓表面,切割凹槽的形狀、寬度跟深度一覽無遺

IC晶片Wire Bonding檢查

垂直、水平走向的超細導線皆可輕易取得高精度掃描影像。能拍攝傾斜表面,故可精確捕捉深度走向的導線重疊和彎曲


更多詳細資料,請下載產品規格表

我們準備了一份產品資料表,您可以在最新型號Gocator 4010/4020在網站上發布之前查看其詳細規格。歡迎從下方的「檔案下載」立即取得產品規格!