Gocator 4000系列全新上市!搶先下載Datasheet
全新Gocator 4000系列智慧3D感測器已發表。
它與之間推出的Gocator 5500系列具有相同的共焦線感測器原理,但採用同軸光學設計,可從正上方捕捉影像,從而能夠以亞微米精度對極其不均勻且微小的目標進行3D掃描。
3D同軸線共焦感測器Gocator 4000系列 產品規格
產品規格 | 4010 | 4020 |
數據點/輪廓 | 1920 | 1920 |
掃描速率[kHz] | 4.3-14 | 4.5-16 |
X解析度[μm] | 1.9 | 2.6 |
Z解析度[μm] | 0.25 | 0.5 |
Z重複精度[μm] | 0.12 | 0.25 |
視野範圍(FOV)[mm] | 3.5 | 5.0 |
安裝距離(CD)[mm] | 9.3 | 27.8 |
量測範圍(MR)[mm] | 1.05 | 2.5 |
Gocator 4000系列特徵
高解析度 x 高速掃描
Gocator 4000系列具有高X和Z解析度,可測量微小特徵並獲得精細的3D數據和2D強度影像。 結合高達16 kHz的高速掃描速率(使用GoMax NX或開啟PC加速時),使其成為可用在生產線上進行In-line檢測的掃描速度和解決方案。
無死角同軸光學設計,傾斜面也可拍攝
同軸光學設計從正上方掃描,即使遇到深槽和突起等高度不平坦的形狀上也可以獲得精細的3D數據。 此外,Gocator 4000系列最大可測量角度為±85度的表面。
適用於各種材質和表面狀況
不論是透明物體還是光滑的鏡面皆可拍攝。例如測量透明黏合劑的塗佈量、晶圓光澤表面上的切割凹槽以及BGA上的錫球凸塊等等。可量測各種材料的三維形貌和表面狀態。
內建取像與測量軟體
基於網頁瀏覽器的介面,只需使用滑鼠即可輕鬆設定和操作。可以使用附帶的測量工具進行尺寸測量和影像處理,並且它還支援I/O連接和PLC輸入/輸出的各種現場匯流排。
Gocator 4000系列的測量原理
在Gocator 4000系列所使用的同軸共焦光學系統中,當白光通過彩色透鏡時,它會沿著Z軸分光成連續的單色光。當待測物的表面在此光譜範圍內時,單一波長的光線會從表面反射並進入感測器。且感測器的正前方設有濾光針孔(Pin Hole),只有在焦點高度反射的光才能通過濾光針孔並被光譜儀偵測到。
透過分析偵測到的光的波長,即可確定物體表面的準確位置。
部分應用案例
Gocator 4000系列能夠以亞微米精度對透明物體和光澤鏡面進行成像,適用於半導體產業和其他產業精密產品的形狀測量和外觀檢查。
BGA錫球高度檢測
晶圓晶片裂紋檢測
IC晶片Wire Bonding檢查
更多詳細資料,請下載產品規格表
我們準備了一份產品資料表,您可以在最新型號Gocator 4010/4020在網站上發布之前查看其詳細規格。歡迎從下方的「檔案下載」立即取得產品規格!